（1）设备概述
SRO系列电子工业超纯水设备是由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。
原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
（2）工艺原理
◆ 传统水处理方式——离子交换树脂法
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
◆ 反渗透水处理设备与离子交换设备组合法
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
◆ 新工艺——反渗透设备与电去离子（EDI）设备搭配法
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
（3）运行参数
单机出力：0.5m3/H—120m3/H
脱盐率：反渗透系统百分之98
操作压力：1MPa—1.5MPa
回收率：百分之60—百分之80
产品水电阻率：16-18MΩ·cm
（4）应用范围
◆ 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；
◆ 超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；
◆ 实验室和中试车间用超纯水；
◆ 汽车、家电表面抛光处理；
◆ 光电子产品；
◆ 其他高科技精微产品；
